成長装置 (Equipment for growth process)

• MOCVD成長装置(InGaAs(Pも可）系)
• MOCVD成長装置(GaN系)
• MOCVD成長装置(GaInNAs系)
• MBE成長装置(GaAs系、Sb系、N系)
• MBE成長装置(GaN系)
• STMその場観察可能なMBE装置
• 有機デバイス作製装置

測定・評価装置 (Equipment for measurement)

• 電界放出走査型電子顕微鏡（１）
• 電界放出走査型電子顕微鏡（２）
• マルチモード型原子間力顕微鏡
• コンタクトモード型原子間力顕微鏡
• 走査型トンネル顕微鏡
• レーザシステム（１）(Mira, Regen)
• レーザシステム（２）(Mira-Seed)
• トリプルモノクロメータ
• フーリエ変換赤外分光装置
• 電気測定用評価装置
• X線回折装置
• 紫外／可視／赤外分光光度計
• 大気中光電子分光装置
• 青色半導体レーザ顕微鏡

プロセス装置 (Equipment for device process)

• 電子線描画装置
• 誘導結合型反応性イオンエッチング装置
• レーザ素子用ダイボンダ装置
• ワイヤボンダ装置
• スパッタ装置
• 電子線蒸着装置